半导体微光

半导体微光显微镜（EMMI）设备市场调研报告

微光显微镜（Emission Microscope，简称EMMI）是一种用于半导体失效分析的高效非破坏性检测工具，其主要功能是侦测集成电路内部缺陷产生的微弱光子发射信号。随着半导体工艺节点不断缩小（